[实用新型]单晶硅生产用单晶炉

说明书

本实用新型涉及一种单晶硅生产用单晶炉，包括炉体，所述炉体内设有坩埚组件、加热组件和保温组件，所述保温组件包括内部保温筒、外部保温筒和底部保温层，所述外部保温筒置于所述炉体的内侧壁且该外部保温筒套设于所述内部保温筒，所述底部保温层位于炉体的底盘上，且该底部保温层的四周壁贴合于所述内部保温筒，所述加热组件包括侧部加热器和底部加热器，所述侧部加热器位于坩埚组件与内部保温筒之间，所述底部加热器位于坩埚组件与底部保温层之间，所述侧部加热器和底部加热器通过石墨螺母连接于石墨电极。本实用新型加热时可以同时对坩埚组件的侧壁和底部进行加热，保证了单晶硅片的质量。

技术领域

本实用新型涉及单晶炉，具体涉及一种单晶硅生产用单晶炉。

背景技术

在太阳能电池、电子器件和电路用单晶硅片的生产过程中，采用单晶炉，使得多晶硅原料在单晶炉的石英坩埚中熔化，并用直拉法从硅熔体中拉制硅单晶。目前单晶炉采用侧部筒体加热器，烦热部分多集中在单晶炉侧部，影响炉内温度的均衡，从而影响单晶硅片的质量。

实用新型内容

为了克服上述缺陷，本实用新型提供一种单晶硅生产用单晶炉，该单晶炉中设有侧部加热器和底部加热器，保证了炉体内温度的均衡，提高了单晶硅片成品的质量。

本实用新型为了解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种单晶硅生产用单晶炉，包括炉体，所述炉体内设有坩埚组件、加热组件和保温组件，所述保温组件包括内部保温筒、外部保温筒和底部保温层，所述外部保温筒置于所述炉体的内侧壁且该外部保温筒套设于所述内部保温筒，所述底部保温层位于炉体的底盘上，且该底部保温层的四周壁贴合于所述内部保温筒，所述加热组件包括侧部加热器和底部加热器，所述侧部加热器位于坩埚组件与内部保温筒之间，所述底部加热器位于坩埚组件与底部保温层之间，所述侧部加热器和底部加热器通过石墨螺母连接于石墨电极。

优选地，所述内部保温筒和外部保温筒皆为两端开口、中空的筒状结构，所述内部保温筒为粘胶基碳毡制备的一体烧制成型件，所述外部保温筒为粘胶基碳毡卷曲并通过石墨绳缝制而成的多层筒。

优选地，所述外部保温筒贴合于所述炉体的内侧壁，所述内部保温筒与外部保温筒之间留有2-4mm的间隙，所述内部保温筒的厚度是外壁保温筒厚度的0.3-0.5倍。

优选地，所述炉体的底盘与底部保温层之间还设有碳碳板，所述底部保温层为石墨毡制备而成的保温层，所述炉体内设有导流筒。

优选地，所述侧部加热器呈两端开口、内部中空的圆筒状结构，所述侧部加热器的下端面沿其中心轴线均匀地设有若干个第一电极脚，所述第一电极脚沿侧部加热器的径向方向向内延伸而形成且该第一电极脚与侧部加热器呈垂直布置。

优选地，所述底部加热器呈圆环状结构，该底部加热器的外环边缘沿其径向方向向外延伸形成若干第二电极脚，安装时，所述石墨螺母依次穿过第二电极脚、第一电极脚与石墨电极而将侧部加热器、底部加热器和石墨电极连接。

优选地，所述坩埚组件包括石墨坩埚和石英坩埚，所述石英坩埚置于所述石墨坩埚的内部用于放置硅料，所述石墨坩埚的底部设有坩埚托盘，所述坩埚托盘通过坩埚托杆支撑。

本实用新型的有益效果是：

1)本实用新型中的复合保温筒由内部保温筒和外部保温筒套合而成，因此当某一层烧蚀现象严重导致无法使用时只需要更换损坏的那一层保温筒即可，减少了更换的成本，且在内部保温筒与外部保温筒之间设有一定的间隙，便于内、外保温筒的更换；