[实用新型]单晶硅生产用单晶炉

权利要求书

1.一种单晶硅生产用单晶炉，其特征在于：包括炉体(10)，所述炉体(10)内设有坩埚组件、加热组件和保温组件，所述保温组件包括内部保温筒(21)、外部保温筒(22)和底部保温层(23)，所述外部保温筒(22)置于所述炉体(10)的内侧壁且该外部保温筒(22)套设于所述内部保温筒(21)，所述底部保温层(23)位于炉体(10)的底盘上，且该底部保温层(23)的四周壁贴合于所述内部保温筒(21)，所述加热组件包括侧部加热器(31)和底部加热器(32)，所述侧部加热器(31)位于坩埚组件与内部保温筒(21)之间，所述底部加热器(32)位于坩埚组件与底部保温层(23)之间，所述侧部加热器(31)和底部加热器(32)通过石墨螺母(34)连接于石墨电极(33)；

所述内部保温筒(21)和外部保温筒(22)皆为两端开口、中空的筒状结构，所述内部保温筒(21)为粘胶基碳毡制备的一体烧制成型件，所述外部保温筒(22)为粘胶基碳毡卷曲并通过石墨绳缝制而成的多层筒，所述外部保温筒(22)贴合于所述炉体的内侧壁，所述内部保温筒(21)与外部保温筒(22)之间留有2-4mm的间隙，所述内部保温筒(21)的厚度是外部保温筒(22)厚度的0.3-0.5倍；

所述炉体(10)的底盘与底部保温层(23)之间还设有碳碳板(24)，所述底部保温层(23)为石墨毡制备而成的保温层，所述炉体(10)内设有导流筒(15)。

2.根据权利要求1所述的单晶硅生产用单晶炉，其特征在于：所述侧部加热器(31)呈两端开口、内部中空的圆筒状结构，所述侧部加热器(31)的下端面沿其中心轴线均匀地设有若干个第一电极脚(35)，所述第一电极脚(35)沿侧部加热器的径向方向向内延伸而形成且该第一电极脚(35)与侧部加热器呈垂直布置。

3.根据权利要求2所述的单晶硅生产用单晶炉，其特征在于：所述底部加热器(32)呈圆环状结构，该底部加热器(32)的外环边缘沿其径向方向向外延伸形成若干第二电极脚(36)，安装时，所述石墨螺母(34)依次穿过第二电极脚(36)、第一电极脚(35)与石墨电极(33)而将侧部加热器(31)、底部加热器(32)和石墨电极(33)连接。

4.根据权利要求1所述的单晶硅生产用单晶炉，其特征在于：所述坩埚组件包括石墨坩埚(12)和石英坩埚(11)，所述石英坩埚(11)置于所述石墨坩埚(12)的内部用于放置硅料，所述石墨坩埚(12)的底部设有坩埚托盘(13)，所述坩埚托盘(13)通过坩埚托杆(14)支撑。