[实用新型]一种入料推杆治具有效
| 申请号: | 202022774026.5 | 申请日: | 2020-11-26 |
| 公开(公告)号: | CN213459680U | 公开(公告)日: | 2021-06-15 |
| 发明(设计)人: | 吴庆华;唐伟炜;丁海春;周仪;张竞扬;徐明广;龚凯;柯军松;徐晓枫 | 申请(专利权)人: | 合肥速芯微电子有限责任公司 |
| 主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/56 |
| 代理公司: | 上海和华启核知识产权代理有限公司 31339 | 代理人: | 李韶娟 |
| 地址: | 230001 安徽省合肥市高新区创*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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| 摘要: | 本实用新型公开了一种入料推杆治具,包括治具主体和定子座,所述治具主体前侧外壁固定连接有上侧定位导向柱,所述治具主体前侧外壁且位于上侧定位导向柱底部固定连接有下侧定位导向柱;所述上侧定位导向柱与下侧定位导向柱之间设置有推杆,所述治具主体前侧外壁且位于下侧定位导向柱一侧固定连接有套筒,本实用新型中,通过设置有上侧调节模块、下侧固定模块、减震弹簧、套筒及滑板等装置,将推杆装入下侧固定模块中,将上侧调节模块沿着滑板滑下,利用紧固螺栓将上侧调节模块与下侧固定模块相固定,因为滑板与减震弹簧相连接,通过减震弹簧为滑板提供减震,保证入料头在入料时不发生因为碰撞而损坏,该装置结构简单,方便实用。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 推杆 | ||
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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