[实用新型]一种管式镀膜石墨舟

摘要

本实用新型实施例涉及光伏设备技术领域，公开了一种管式镀膜石墨舟。包括沿第一方向间隔设置的若干石墨舟片，至少一对相邻的所述石墨舟片间和/或至少一个所述石墨舟片内设有加热载体。通过设置加热载体，可以主动精准控制石墨舟片的温度，使石墨舟片上的温度分布均匀，解决了现有的石墨舟片由于受外部热场影响，导致温度分布不均匀，外侧温度高于内侧温度，石墨舟片的舟尾侧温度高于石墨舟片的舟头侧温度的问题，使硅片沉积氮化硅速率均匀，氮化硅减反射膜膜色差异性小。