[实用新型]一种防止反溅射物剥落的靶材组件有效
| 申请号： | 202022743310.6 | 申请日： | 2020-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN213772195U | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;章丽娜 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种防止反溅射物剥落的靶材组件，所述防止反溅射物剥落的靶材组件包括背板与靶材，所述背板的中心处向上突起形成凸台，所述凸台的上表面与所述靶材的焊接面相连接，所述凸台的纵截面呈现上粗下细的梯形，所述凸台的侧面与所述背板的边缘处的上表面之间的夹角为75度‑85度，所述凸台的底部边缘处设有背板倒圆角。本实用新型将靶材组件中≥90度的L型弯折处改进成角度为75度‑85度的倒圆角，可以进一步有效地防止沉积在此处的反溅射物剥落，从而避免了异常放电和颗粒污染腔体等现象发生。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 防止 溅射 剥落 组件 | ||
【主权项】：
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