[实用新型]一种片式真空镀膜机的高效溅射治具

摘要

本实用新型涉及一种片式真空镀膜机的高效溅射治具，包括治具的上卡具、上端子、主体、下端子、下卡具、基片固定压条以及背板。上卡具和下卡具分别通过螺丝固定在溅射腔体上下大盘上；上端子和下端子都设有一个卡槽和一个通孔，卡槽与主体连接，螺丝通过通孔进行固定，端子与卡具配合实现溅射治具的安装和拆卸；主体设有四个装片位，装片位四周设有台阶用以基片定位，主体还设有五对螺纹孔用于压条的固定以及两对螺丝孔用于背板的固定。本实用新型采用正反面镂空设计，正面溅射时，反面用背板覆盖，正面溅射完可以将背板覆盖到正面进行背面溅射。本实用新型夹具结构简单，装配方便，能够有效防止溅射，提高了可靠性和工作效率。