[实用新型]MEMS麦克风和电子设备有效
申请号: | 202022650175.0 | 申请日: | 2020-11-16 |
公开(公告)号: | CN213403503U | 公开(公告)日: | 2021-06-08 |
发明(设计)人: | 袁兆斌 | 申请(专利权)人: | 歌尔微电子有限公司 |
主分类号: | H04R19/04 | 分类号: | H04R19/04 |
代理公司: | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人: | 梁馨怡 |
地址: | 266100 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型公开一种MEMS麦克风和应用该MEMS麦克风的电子设备。其中,MEMS麦克风包括外部封装结构和MEMS芯片,外部封装结构包括电路板和罩壳,罩壳罩设于电路板的表面,并与电路板围合形成相互间隔的第一腔室和第二腔室,第一腔室的腔壁开设有连通外界的第一声孔,第二腔室的腔壁开设有连通外界的第二声孔,电路板中形成有连通第一腔室和第二腔室的声道;MEMS芯片设于第一腔室内,并将第一腔室分隔为第一音腔和第二音腔,第一音腔通过第一声孔与外界连通,第二音腔通过声道、第二腔室以及第二声孔与外界连通。本实用新型的技术方案可提供一种能够较好地实现单指向功能的MEMS麦克风。 | ||
搜索关键词: | mems 麦克风 电子设备 | ||
【主权项】:
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