[实用新型]一种用于COF基板的长距离宽幅柔性无胶基材的制备设备

摘要

本实用新型提供一种用于COF基板的长距离宽幅柔性无胶基材的制备设备，包括由真空腔室壁平面包绕的真空腔室，真空腔室的内部安装有放卷轴和收卷轴，在放卷轴和收卷轴之间还设置有冷却轴，真空腔室壁平面的外侧设有分子泵法兰接口，还设有离子注入法兰接口和磁过滤沉积法兰接口，该用于COF基板的长距离宽幅柔性无胶基材的制备设备，通过磁过滤技术，过滤掉弧源产生的大颗粒和中性原子，得到无大颗粒的纯等离子束，可以在低的基体温度下沉积优质涂层，利用磁过滤阴极真空弧制备出高质量的纳米复合膜；通过真空腔室的设计以及电磁场的调整，达到等离子体的长时间大面积稳定引出，使用性能优良。