[实用新型]增设导气管的掺杂剂掺杂装置及单晶炉有效
| 申请号： | 202022565390.0 | 申请日： | 2020-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN213596456U | 公开（公告）日： | 2021-07-02 |
| 发明（设计）人： | 周文辉;伊冉 | 申请（专利权）人： | 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/04 | 分类号： | C30B15/04;C30B29/06 |
| 代理公司： | 宁夏合天律师事务所 64103 | 代理人： | 张淼 |
| 地址： | 750021 宁夏回*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 一种增设导气管的掺杂剂掺杂装置，包括石英钟罩、第一挂钩、石英杯、导气管，所述石英钟罩的顶部封闭，所述石英钟罩的底部开口，在石英钟罩内侧的顶部设有第一挂钩，所述第一挂钩包括第一钩部、第一连接部，所述第一连接部与石英钟罩连接，所述石英杯的顶部开口，所述石英杯的底部封闭，在石英杯的顶部设有吊耳，在石英杯内盛装掺杂剂，所述吊耳与第一钩部连接，所述导气管的上端与石英钟罩的底部开口对接，所述导气管的下端与石英坩埚的顶部开口对接，新的设计方案增加了导气管，气态掺杂剂全部进入导气管，然后集中进入石英坩埚，导气管的容积相比单晶炉的副炉室和主炉室的容积要小的多，掺杂剂的利用率高，避免了掺杂剂的浪费。 | ||
| 搜索关键词： | 增设 气管 掺杂 装置 单晶炉 | ||
【主权项】：
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