[实用新型]一种测卷绕镀膜机Plasma温度的装置

摘要

一种测卷绕镀膜机Plasma温度的装置，包括依次设置的放卷室、放卷辊轴、放卷导向辊、镀膜鼓、收卷导向轴、收卷辊轴，镀膜鼓外套设有镀膜室，镀膜室内均匀设置气体挡板，气体挡板将镀膜室和镀膜鼓之间隔成若干个镀膜腔室，每个镀膜腔室安装有靶材；在镀膜腔室的两个气体挡板靠近镀膜鼓的位置上设置Mask挡板，Mask挡板上均匀设置有热电偶，热电偶与测温仪相连。采用上述技术方案，本实用新型的有益效果是：1.提供一种专业的测量镀膜机Plasma温度的方法，此方法比感温纸测试方法精确，灵敏度高；2.可根据需要，测试一定时间内Plasma温度变化情况；3.成本低，可多次使用。