[实用新型]一种测卷绕镀膜机Plasma温度的装置

权利要求书

1.一种测卷绕镀膜机Plasma温度的装置，包括依次设置的放卷室、放卷辊轴、放卷导向辊、镀膜鼓、收卷导向轴、收卷辊轴，镀膜鼓（4）外套设有镀膜室（13），镀膜室（13）内均匀设置气体挡板（14），气体挡板将镀膜室和镀膜鼓之间隔成若干个镀膜腔室，每个镀膜腔室安装有靶材；其特征在于：在镀膜腔室的两个气体挡板靠近镀膜鼓的位置上设置Mask挡板（15），Mask挡板上均匀设置有热电偶（16），热电偶与测温仪相连。

2.根据权利要求1所述的测卷绕镀膜机Plasma温度的装置，其特征在于：所述热电偶与镀膜鼓镀膜面平行。

3.根据权利要求1所述的测卷绕镀膜机Plasma温度的装置，其特征在于：所述镀膜鼓并列设置两个，分别为第一镀膜鼓（4）和第二镀膜鼓（17），两个镀膜鼓之间设置过渡导向轮（18）。

4.根据权利要求1所述的测卷绕镀膜机Plasma温度的装置，其特征在于：所述热电偶通过高温胶粘贴在Mask挡板上。

5.根据权利要求1所述的测卷绕镀膜机Plasma温度的装置，其特征在于：所述热电偶的型号为K。