[实用新型]用于单晶炉的加热器组件和单晶炉有效
| 申请号： | 202022413804.8 | 申请日： | 2020-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN214496546U | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 黄末 | 申请（专利权）人： | 徐州鑫晶半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14;C30B11/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 肖阳 |
| 地址： | 221004 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于单晶炉的加热器组件和单晶炉，加热器组件包括：第一加热器和第二加热器，第一加热器包括多个第一加热部，多个第一加热部包括第一加热段和第二加热段，第一加热段的数量和第二加热段的数量相等且在第一加热器的周向上一一交错设置，第一加热段的轴向长度大于第二加热段的轴向长度，且第一加热段的下端位于第二加热段下端的下方，第二加热器间隔设在第一加热器的下方，第二加热器包括多个第二加热部，多个第二加热部包括多个第三加热段，每个第三加热段沿第二加热器的径向延伸，且设在对应第二加热段的正下方。根据本实用新型的用于单晶炉的加热器组件，有利于降低晶棒氧含量，延长坩埚使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 单晶炉 加热器 组件 | ||
【主权项】：
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