[实用新型]用于单晶炉的加热器组件和单晶炉

权利要求书

1.一种用于单晶炉的加热器组件(100)，其特征在于，所述单晶炉包括炉体和坩埚，所述坩埚设在所述炉体内，所述加热器组件(100)适于设在所述炉体内，所述加热器组件(100)包括：

第一加热器(1)，所述第一加热器(1)适于环绕所述坩埚设置且包括多个第一加热部(11)，多个所述第一加热部(11)包括多个第一加热段(111)和多个第二加热段(112)，所述第一加热段(111)的数量和所述第二加热段(112)的数量相等且在所述第一加热器(1)的周向上一一交错设置，所述第一加热段(111)的轴向长度大于所述第二加热段(112)的轴向长度，且所述第一加热段(111)的下端位于所述第二加热段(112)下端的下方；

第二加热器(4)，所述第二加热器(4)形成为环形结构且间隔设在所述第一加热器(1)的下方，所述第二加热器(4)包括多个第二加热部(41)，多个所述第二加热部(41)沿所述第二加热器(4)的周向设置且包括多个第三加热段(411)，每个所述第三加热段(411)沿所述第二加热器(4)的径向延伸，且设在对应所述第二加热段(112)的正下方。

2.根据权利要求1所述的用于单晶炉的加热器组件(100)，其特征在于，

所述第二加热段(112)的数量与所述第三加热段(411)的数量相等；或者，

所述第二加热段(112)的数量小于所述第三加热段(411)的数量；或者，

所述第二加热段(112)的数量大于所述第三加热段(411)的数量。

3.根据权利要求1所述的用于单晶炉的加热器组件(100)，其特征在于，

所述第一加热段(111)的轴向长度与所述第二加热段(112)的轴向长度之比位于1.1～1.9范围内。

4.根据权利要求1所述的用于单晶炉的加热器组件(100)，其特征在于，所述第一加热段(111)的上端与所述第二加热段(112)的上端齐平设置。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的用于单晶炉的加热器组件(100)，其特征在于，多个所述第二加热部(41)还包括：

至少一个第四加热段(412)，所述第四加热段(412)沿所述第二加热器(4)的径向延伸，所述第四加热段(412)的轴向长度小于所述第三加热段(411)的轴向长度，且所述第四加热段(412)的上端位于所述第三加热段(411)上端的下方，所述第四加热段(412)设在对应所述第一加热段(111)的正下方。

6.根据权利要求5所述的用于单晶炉的加热器组件(100)，其特征在于，在所述第二加热器(4)的径向上，所述第四加热段(412)的长度小于所述第三加热段(411)的长度。

7.根据权利要求5所述的用于单晶炉的加热器组件(100)，其特征在于，

所述第一加热段(111)的数量与所述第四加热段(412)的数量相等；或者，

所述第一加热段(111)的数量小于所述第四加热段(412)的数量；或者，

所述第一加热段(111)的数量大于所述第四加热段(412)的数量。

8.根据权利要求5所述的用于单晶炉的加热器组件(100)，其特征在于，所述第四加热段(412)的下端与所述第三加热段(411)的下端齐平设置。