[实用新型]一种用于PERC电池生产的磁控溅射镀膜装置

摘要

本实用新型公开了一种用于PERC电池生产的磁控溅射镀膜装置，涉及PERC电池生产技术领域。本实用新型包括真空室、基板本体、靶体和基板接线件，真空室内底部通过若干垫块固定有极板，极板顶部固定有磁极，磁极顶部固定有铜背板，靶体底部固定有靶座。本实用新型通过在真空室内设置隔板能够将真空室分隔为操作腔和真空腔，通过在隔板上设置定位板和支撑沿便于基板本体的定位，通过设置抽气管和橡胶吸盘能够固定基板本体的位置，通过在操作腔内设计新型的基板接线件，方便接地线与基板之间的连接，同时在极板上设置支沿和螺钉能够实现靶体位置的定位和固定，解决了现有的基板本体和靶体不易定位、安装、拆除和更换的问题。