[实用新型]一种用于PERC电池生产的磁控溅射镀膜装置

权利要求书

1.一种用于PERC电池生产的磁控溅射镀膜装置，包括真空室(1)、基板本体(2)和靶体(3)，所述真空室(1)内底部通过若干垫块(101)固定有极板(102)，所述极板(102)顶部固定有磁极(103)，所述磁极(103)顶部固定有铜背板(104)，所述靶体(3)底部固定有靶座(301)，其特征在于：还包括基板接线件(4)；

所述真空室(1)内固定有隔板(105)，所述隔板(105)将真空室(1)分隔为操作腔(106)和真空腔(107)，所述隔板(105)底部固定有一组支撑沿(108)，所述隔板(105)底部固定有一组定位板(109)，一组所述定位板(109)分别设置在一组支撑沿(108)外侧的位置；

所述隔板(105)上贯穿固定有若干抽气管(110)，所述抽气管(110)位于真空腔(107)内的一端固定有橡胶吸盘(111)，所述抽气管(110)另一端贯穿真空室(1)顶部，所述基板本体(2)通过橡胶吸盘(111)固定在一组支撑沿(108)之间，所述基板本体(2)顶面与一组定位板(109)底面接触；

所述基板接线件(4)包括伸缩套管(401)，所述伸缩套管(401)一端固定在操作腔(106)内顶面，所述伸缩套管(401)另一端固定有垫板(402)，所述垫板(402)一表面固定有导电杆(403)，所述导电杆(403)一端贯穿隔板(105)且固定有导电盘(404)，所述导电杆(403)与隔板(105)滑动连接，所述垫板(402)与操作腔(106)内顶面之间固定有弹簧(405)，所述导电杆(403)位于操作腔(106)内周侧面电性连接有接地线(406)，所述接地线(406)一端贯穿真空室(1)；

所述铜背板(104)一相对侧均设有支沿(112)，一组所述支沿(112)与铜背板(104)之间形成定位腔，所述靶座(301)设置在定位腔内且与定位腔间隙配合。

2.根据权利要求1所述的一种用于PERC电池生产的磁控溅射镀膜装置，其特征在于，所述支沿(112)一端贯穿有螺钉(113)，所述靶座(301)通过一组螺钉(113)固定在定位腔内，所述螺钉(113)外表面与靶座(301)外侧面接触。

3.根据权利要求1所述的一种用于PERC电池生产的磁控溅射镀膜装置，其特征在于，所述真空室(1)外侧上部固定有侧板(114)，所述侧板(114)固定在操作腔(106)外侧，所述真空室(1)前侧面设有门体(115)。

4.根据权利要求1所述的一种用于PERC电池生产的磁控溅射镀膜装置，其特征在于，所述真空室(1)底部贯穿固定有真空管(116)，所述真空管(116)一端设有抽真空泵。

5.根据权利要求1所述的一种用于PERC电池生产的磁控溅射镀膜装置，其特征在于，所述极板(102)底部电性连接有导线，所述导线一端电性连接有直流电。

6.根据权利要求1所述的一种用于PERC电池生产的磁控溅射镀膜装置，其特征在于，若干所述抽气管(110)通过管道固定有真空泵，所述管道上设有电动开关阀。