[实用新型]一种用于PERC电池生产的磁控溅射镀膜装置

说明书

本实用新型公开了一种用于PERC电池生产的磁控溅射镀膜装置，涉及PERC电池生产技术领域。本实用新型包括真空室、基板本体、靶体和基板接线件，真空室内底部通过若干垫块固定有极板，极板顶部固定有磁极，磁极顶部固定有铜背板，靶体底部固定有靶座。本实用新型通过在真空室内设置隔板能够将真空室分隔为操作腔和真空腔，通过在隔板上设置定位板和支撑沿便于基板本体的定位，通过设置抽气管和橡胶吸盘能够固定基板本体的位置，通过在操作腔内设计新型的基板接线件，方便接地线与基板之间的连接，同时在极板上设置支沿和螺钉能够实现靶体位置的定位和固定，解决了现有的基板本体和靶体不易定位、安装、拆除和更换的问题。

技术领域

本实用新型属于PERC电池生产技术领域，特别是涉及一种用于PERC电池生产的磁控溅射镀膜装置。

背景技术

磁控溅射法所制备氮化硅薄膜具备薄膜纯度高、致密性好、成膜均匀性好和良好的附着力的优势，制备不同应力状态的氮化硅薄膜可以满足不同期间的要求，能够提高PREC电池背面氮化硅薄膜的稳定性与均匀性，从而提高电池片的转换效率。

现有的磁控溅射镀膜装置中可采用夹具用于基板的定位和固定，然而由于夹具与基板之间的连接处会出现遮挡的情况，影响基板表面覆膜的均匀性，同时由于靶体随着消耗需要经常进行安装、拆除和更换，由于真空室内空间的局限性，不利于工作人员对基板和靶体的安装和拆除，因此设计出易安装拆除基板和靶体的镀膜装置是本领域工作人员需要解决的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于PERC电池生产的磁控溅射镀膜装置，通过在真空室内设置隔板能够将真空室分隔为操作腔和真空腔，通过在隔板上设置定位板和支撑沿便于基板本体的定位，通过设置抽气管和橡胶吸盘能够固定基板本体的位置，通过在操作腔内设计新型的基板接线件，方便接地线与基板之间的连接，同时在极板上设置支沿和螺钉能够实现靶体位置的定位和固定，解决了现有的基板本体和靶体不易定位、安装、拆除和更换的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：

本实用新型为一种用于PERC电池生产的磁控溅射镀膜装置，包括真空室、基板本体、靶体和基板接线件，所述真空室内底部通过若干垫块固定有极板，所述极板顶部固定有磁极，所述磁极顶部固定有铜背板，所述靶体底部固定有靶座；

所述真空室内固定有隔板，所述隔板将真空室分隔为操作腔和真空腔，所述隔板底部固定有一组支撑沿，所述隔板底部固定有一组定位板，一组所述定位板分别设置在一组支撑沿外侧的位置；

所述隔板上贯穿固定有若干抽气管，所述抽气管位于真空腔内的一端固定有橡胶吸盘，所述抽气管另一端贯穿真空室顶部，所述基板本体通过橡胶吸盘固定在一组支撑沿之间，所述基板本体顶面与一组定位板底面接触；

所述基板接线件包括伸缩套管，所述伸缩套管一端固定在操作腔内顶面，所述伸缩套管另一端固定有垫板，所述垫板一表面固定有导电杆，所述导电杆一端贯穿隔板且固定有导电盘，所述导电杆与隔板滑动连接，所述垫板与操作腔内顶面之间固定有弹簧，所述导电杆位于操作腔内周侧面电性连接有接地线，所述接地线一端贯穿真空室；

所述铜背板一相对侧均设有支沿，一组所述支沿与铜背板之间形成定位腔，所述靶座设置在定位腔内且与定位腔间隙配合。

进一步地，所述支沿一端贯穿有螺钉，所述靶座通过一组螺钉固定在定位腔内，所述螺钉外表面与靶座外侧面接触。

进一步地，所述真空室外侧上部固定有侧板，所述侧板固定在操作腔外侧，所述真空室前侧面设有门体。

进一步地，所述真空室底部贯穿固定有真空管，所述真空管一端设有抽真空泵。

进一步地，所述极板底部电性连接有导线，所述导线一端电性连接有直流电。

进一步地，若干所述抽气管通过管道固定有真空泵，所述管道上设有电动开关阀。