[实用新型]清洗式硅片下片机有效
| 申请号： | 202022323808.7 | 申请日： | 2020-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN213445116U | 公开（公告）日： | 2021-06-15 |
| 发明（设计）人： | 闫善韵 | 申请（专利权）人： | 苏州林赛自动化科技有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/07 | 分类号： | B65G49/07 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及下片机领域，尤其是清洗式硅片下片机。该下片机包括龙门架、二轴机械手、抓花篮机构、清洗槽、花篮水平输送台、吹除机构、下片台，所述龙门架的横梁上安装有二轴机械手和吹除机构，二轴机械手上安装有抓花篮机构，龙门架下方设有清洗槽、花篮水平输送台、下片台。本实用新型通过二轴机械手配合抓花篮机构来移动硅片花篮。通过清洗槽来清洗硅片。通过吹除机构将硅片上的液体吹落。通过花篮水平输送台将硅片花篮移动到下片台上进行取出下片。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 硅片 下片 | ||
【主权项】：
暂无信息
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