[实用新型]一种进排气阀纵向布置的高真空微型泵

摘要

本实用新型公开了一种进排气阀纵向布置的高真空微型泵，包括泵腔组件，设置在泵腔组件内至上而下的驱动组件和隔膜，设置在泵腔组件下部的进气腔和排气腔，与驱动组件连接的电机，设置在泵腔组件底端的进气接口和排气接口；电机设置在驱动组件的右端，进气腔和排气腔设置在隔膜的下方，进气腔内设置有进气阀，排气腔内设置有排气阀，进气阀和排气阀的中心连线与电机的轴线平行，进气阀和排气阀分别与进气接口和排气接口相通。本实用新型改变进气阀和排气阀的位置，进气阀和排气阀的中心连线与电机轴线平行，使得带有棱角结构的进气腔和排气腔避开了隔膜运动的最低点，避免了隔膜的磨损，延长了隔膜的使用寿命，提高了微型泵的吸气真空度。