[实用新型]硅片上下料机有效
| 申请号： | 202022225009.6 | 申请日： | 2020-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN213201489U | 公开（公告）日： | 2021-05-14 |
| 发明（设计）人： | 闫善韵 | 申请（专利权）人： | 苏州林赛自动化科技有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/07 | 分类号： | B65G49/07 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及硅片装篮设备领域，尤其是硅片上下料机。该上下料机包括机架、硅片花篮、花篮入料水平传输机构、花篮出料水平传输机构、硅片水平传输机构、硅片放料机构、花篮升降机构、花篮压紧机构、花篮水平传输机构，所述机架上安装有花篮入料水平传输机构、花篮出料水平传输机构、硅片水平传输机构、硅片放料机构、花篮升降机构，花篮升降机构的滑座上安装有用于定位硅片花篮的花篮压紧机构、花篮水平传输机构。本实用新型通过花篮入料水平传输机构和花篮出料水平传输机构将花篮在不同高度水平移动。通过花篮升降机构来升降花篮。通过硅片放料机构将硅片逐一放置到硅片水平传输机构上进行移动。本申请提高了花篮装硅片并移动的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 上下 | ||
【主权项】：
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