[实用新型]一种半导体设备研磨头装载体清洗装置有效
| 申请号： | 202022185339.7 | 申请日： | 2020-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN213316568U | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 薛弘宇;陈开清;刘兴明;程阳;周建国 | 申请（专利权）人： | 江苏凯威特斯半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B13/00 |
| 代理公司： | 无锡苏元专利代理事务所(普通合伙) 32471 | 代理人： | 吴忠义 |
| 地址： | 214000 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种半导体设备研磨头装载体清洗装置，具体涉及半导体设备清洗技术领域，包括固定架，所述固定架的底部设置有废液箱，且固定架的外侧安装有水箱，所述固定架的顶端连接有固定壳，所述固定壳的前端安装有门板，所述门板的内部设置有观察窗，所述固定壳的内部安装有清洗机构；所述清洗机构包括安装在固定壳顶部的伺服电机，所述伺服电机的底端连接有转动轴，所述转动轴的底端固定连接有转动座。本实用新型在使用时，实现可持续的对多个研磨头装载体进行分批清洗，提高了清洗效率，节省了人力，且方便对清洗箱的内部实现智能换水，便于对后续清洗的研磨头装载体提供净水清洗，避免超声波清洗箱的内部水脏污影响清洗质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体设备 研磨 装载 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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