[实用新型]微机电结构、电子烟开关以及电子烟有效
申请号: | 202022169219.8 | 申请日: | 2020-09-28 |
公开(公告)号: | CN213754953U | 公开(公告)日: | 2021-07-20 |
发明(设计)人: | 荣根兰;孟燕子;孙恺;胡维 | 申请(专利权)人: | 苏州敏芯微电子技术股份有限公司 |
主分类号: | H04R19/01 | 分类号: | H04R19/01;H04R19/04 |
代理公司: | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人: | 蔡纯;王月玲 |
地址: | 215123 江苏省苏州市工业*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本申请公开了一种微机电结构、电子烟开关以及电子烟,该微机电结构包括衬底,具有腔体;振动膜,位于衬底上并覆盖腔体;以及背板,位于振动膜上,与振动膜之间具有间隙,其中,背板包括电极板以及包覆电极板的绝缘层,电极板与振动膜至少被绝缘层电隔离。该微机电结构通过在背板中设置包覆电极板的绝缘层,从而改善了由于油污等污染物导致微机电结构中背板与振动膜短路的问题。 | ||
搜索关键词: | 微机 结构 电子 开关 以及 | ||
【主权项】:
暂无信息
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