[实用新型]一种包含多种校准类型的晶圆标准样板有效
| 申请号： | 202022169212.6 | 申请日： | 2020-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN213750299U | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | 蒋庄德;张雅馨;王琛英;景蔚萱;林启敬;张易军;张亮亮;高崐;李磊;毛琦;王松;牛忠楠 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01R35/00 | 分类号： | G01R35/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人： | 苟冬梅 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请实施例提供一种包含多种校准类型的晶圆标准样板，属于微纳米级精密测量技术领域。包括：基底，所述基底上设置有指引区域与校准区域；所述指引区域包括：指引图案与至少两个凹坑；所述校准区域包括：与每个凹坑配套的标准样板，所述标准样板安装于所述凹坑上；所述指引图案设置于所述凹坑周围，用于在测量仪器对所述标准样板进行定位时，对所述测量仪器的定位起到指示作用。使用本申请提供的包含多种校准类型的晶圆标准样板，可以在保证校准精度的同时，提高校准效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 包含 多种 校准 类型 标准 样板 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安交通大学，未经西安交通大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202022169212.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种射包输送机
- 下一篇：微机电结构、电子烟开关以及电子烟
