[实用新型]一种包含多种校准类型的晶圆标准样板

权利要求书

1.一种包含多种校准类型的晶圆标准样板，其特征在于，包括：基底(6)，所述基底(6)上设置有指引区域(1)与校准区域(2)；

所述指引区域(1)包括：指引图案(4)与至少两个凹坑(5)；

所述校准区域(2)包括：与每个凹坑(5)配套的标准样板(3)，所述标准样板(3)安装于所述凹坑(5)上；

所述指引图案(4)设置于所述凹坑(5)周围，用于在测量仪器对所述标准样板(3)进行定位时，对所述测量仪器的定位起到指示作用。

2.根据权利要求1所述的晶圆标准样板，其特征在于，不同的凹坑(5)周围设置不同的指引图案(4)。

3.根据权利要求1所述的晶圆标准样板，其特征在于，所述凹坑(5)的内侧壁设置有若干抵触部(7)，所述若干抵触部(7)凸出于所述凹坑(5)的内侧壁，所述若干抵触部(7)远离所述凹坑(5)的内侧壁的一端分别与所述标准样板(3)的侧壁抵触，以对所述标准样板(3)进行定位。

4.根据权利要求3所述的晶圆标准样板，其特征在于，所述至少两个凹坑(5)内侧壁未设置有所述抵触部(7)的位置，与所述标准样板(3)的侧壁之间具有间隙(9)。

5.根据权利要求1所述的晶圆标准样板，其特征在于，所述凹坑(5)的深度大于或等于所述标准样板(3)的厚度。

6.根据权利要求1所述的晶圆标准样板，其特征在于，所述凹坑(5)在所述基底(6)上的分布方式根据所述凹坑(5)的数量确定：

在所述凹坑(5)的数量为两个时，两个所述凹坑(5)对称设置于所述基底(6)的轴线上；

在所述凹坑(5)的数量为三个时，三个所述凹坑(5)分别等间隔分布于以所述基底(6)中心点为中心的一等边三角形的三个顶角处，或三个所述凹坑(5)等间隔分布于所述基底(6)的轴线上，其中，三个所述凹坑(5)中的一个凹坑(5)位于所述基底(6)的中心处；

在所述凹坑(5)的数量为四个时，所述凹坑(5)分别等间隔地分布在以所述基底(6)为中心的一正方形的四个顶角处；

在所述凹坑(5)的数量为五个时，五个所述凹坑(5)中的一个凹坑(5)位于所述基底(6)的中心处，五个所述凹坑(5)中的四个凹坑(5)等间隔均匀分布于所述一个凹坑(5)的周围。

7.根据权利要求1所述的晶圆标准样板，其特征在于，所述基底(6)上设置有样板规格(8)，所述样板规格(8)设置于所述标准样板(3)周围，其中，不同的所述标准样板(3)对应不同的所述样板规格(8)。