[实用新型]曝光用透明光罩和曝光设备

摘要

本实用新型公开了一种曝光用透明光罩和曝光设备，曝光用透明光罩包括：光罩本体，所述光罩本体内设置有冷却腔，所述冷却腔内流动有气态或液态的冷却介质，所述光罩本体上还设置有与所述冷却腔连通的进口和出口。通过在光罩本体内设置冷却腔，并且通过冷却腔内流经的冷却介质，从而可以使透明光罩温度的变化小，如此不会引起透明光罩尺寸的变化，进而不会造成曝光图案的失真。并且，透明光罩温度的变化小，从而不会将热量传导给基板，也不会使基板产生更大的变形，进而可以避免曝光后的产品尺寸的失真以及产品的质量不稳定。