[实用新型]一种MEMS微泵测试系统有效
| 申请号： | 202022119704.4 | 申请日： | 2020-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN213180638U | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 卞达;赵晓燕;郭永信;赵永武;王永光 | 申请（专利权）人： | 江南大学 |
| 主分类号： | G01M13/00 | 分类号： | G01M13/00 |
| 代理公司： | 南京禹为知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32272 | 代理人： | 朱宝庆 |
| 地址： | 214122 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种MEMS微泵测试系统，包括，补液组件、贮液组件、控制模块和量测器；所述补液组件分别与所述贮液组件和待测微泵相连接；所述贮液组件分别与所述待测微泵和所述量测器相连接；所述控制模块与所述补液组件、所述待测微泵及所述贮液组件的控制端相连。本实用新型使用补液组件和贮液组件辅助进行MEMS微泵测试，能够测试较小的输出液体体积和流量，同时，通过控制贮液组件的压力，可测试MEMS微泵在不同压力下的输出液体体积和流量，且系统中使用了单向阀的设计，保证了测试过程中不存在液体倒流的情况，保证了测试精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 测试 系统 | ||
【主权项】：
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