[实用新型]一种硅片生产的链式碱抛水上漂技术装置

摘要

本实用新型公开了一种硅片生产的链式碱抛水上漂技术装置，包括反应槽，所述反应槽的内部转动安装有传动机构，所述反应槽的顶部分别固定连接有水膜机构和第一感应器，所述水膜机构的内部设置有温控单元，所述第一感应器位于水膜机构的一侧，所述反应槽的内壁固定安装有第二感应器，所述第二感应器位于传动机构的上端，所述反应槽的内部设置有建浴机构，本实用新型通过传动装置对硅片的多段水膜附着，利用反应槽内低液位从而产生药水张力的作用，使硅片上部的磷硅玻璃在生产中不会被破坏，解决了现如今刻蚀工艺效果不佳且成本昂贵等问题，且降低了生产成本，提高了良品率。