[实用新型]全自动晶圆清洗机有效
| 申请号： | 202022092726.6 | 申请日： | 2020-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN213378176U | 公开（公告）日： | 2021-06-08 |
| 发明（设计）人： | 江永 | 申请（专利权）人： | 东莞市凯迪微清洗技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/04 | 分类号： | B08B3/04;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) 11427 | 代理人： | 张勋 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市大*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了全自动晶圆清洗机，包括机体，所述机体内部设有第一腔体及第二腔体，并且所述第一腔体与所述第二腔体之间设有清洗腔，所述机体的前端设有机头，所述机头内部设有物料升降机构、第一弹匣及第二弹匣，所述清洗腔设有清洗摆臂机构及可真空吸附的陶瓷吸盘，所述第一腔体设有物料纵走机构、清洗盖升降机构及物料承载臂，所述物料纵走机构设有可夹取物料的气动夹爪，所述第二腔体设有主轴升降机构及主轴旋转机构，并且所述主轴升降机构与所述主轴旋转机构分别对接所述清洗腔，本实用新型通过升降式的送料及出料，并且通过自动夹取并实现自动清洗的功能实现全自动化清洗，提高清洗效率减少人工成本。 | ||
| 搜索关键词： | 全自动 清洗 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东莞市凯迪微清洗技术有限公司，未经东莞市凯迪微清洗技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202022092726.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种鞍座的自动夹具
- 下一篇：一种用于注射管的真空传送装置
