[实用新型]旋转接头和硅片处理装置有效
| 申请号： | 202022041198.1 | 申请日： | 2020-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN213512548U | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 左国军;成旭;邱瑞;谈丽文;李雄朋;任金枝 | 申请（专利权）人： | 常州捷佳创精密机械有限公司 |
| 主分类号： | F16L27/08 | 分类号： | F16L27/08;H01L21/67;F16J15/20;F16C35/06;F16C33/78 |
| 代理公司： | 北京友联知识产权代理事务所(普通合伙) 11343 | 代理人： | 尚志峰;王淑梅 |
| 地址： | 213133 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种旋转接头和一种硅片处理装置，旋转接头包括：轴承座，轴承座内设置有轴孔和进液腔，轴孔和进液腔相连通，轴孔的孔壁上设置有密封槽；转轴，设置于轴孔中，转轴内设置有通道，通道与进液腔相连通；密封件，位于密封槽内，密封件包括：耐磨圈，套设于转轴上；密封圈，套设于耐磨圈上。通过设置耐磨圈可以借助耐磨圈所具备的耐磨特性降低密封件在工作过程中的磨损量。避免出现因频繁转动的转轴磨损密封件所引起的液体泄漏现象。并且耐磨圈结构可以显著提升密封件的使用寿命，削减旋转结构的维护成本，提升产品的整体使用寿命。进而实现优化旋转接头结构，提升旋转接头密封可靠性，延长旋转接头使用寿命的技术效果。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转 接头 硅片 处理 装置 | ||
【主权项】：
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