[实用新型]一种载台平行度检测仪有效
| 申请号： | 202021900845.3 | 申请日： | 2020-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN212843449U | 公开（公告）日： | 2021-03-30 |
| 发明（设计）人： | 蔡文必;林鑫;张灿秋 | 申请（专利权）人： | 厦门市三安集成电路有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/27 | 分类号： | G01B11/27 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 361100 福建省厦门*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种载台平行度检测仪，属于半导体的制程设备领域。包括：一放置于载台上的支架，支架设置有三个装接端；每一个装接端分别装设有激光发射方向相互平行，并且在激光发射方向上不为一个平面的第一测距单元、第二测距单元和第三测距单元；支架连接有显示单元，显示单元的面板侧设有操作按键；支架设有电源且电连接三个测距单元和显示单元；利用了三个不在一条直线上的点确定一个平面、平行四边形对边等长且两两平行的几何原理；不需要载台处于水平状态，仅通过三个测距单元的测距数值，就能够快速判断载台和作业面是否相互平行；并且载台平行度检测仪可以适配不同型号载台，通配率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平行 检测 | ||
【主权项】：
暂无信息
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