[实用新型]一种载台平行度检测仪

说明书

本实用新型公开了一种载台平行度检测仪，属于半导体的制程设备领域。包括：一放置于载台上的支架，支架设置有三个装接端；每一个装接端分别装设有激光发射方向相互平行，并且在激光发射方向上不为一个平面的第一测距单元、第二测距单元和第三测距单元；支架连接有显示单元，显示单元的面板侧设有操作按键；支架设有电源且电连接三个测距单元和显示单元；利用了三个不在一条直线上的点确定一个平面、平行四边形对边等长且两两平行的几何原理；不需要载台处于水平状态，仅通过三个测距单元的测距数值，就能够快速判断载台和作业面是否相互平行；并且载台平行度检测仪可以适配不同型号载台，通配率高。

技术领域

本实用新型涉及半导体器件的制程设备领域，具体而言，涉及一种载台平行度检测仪。

背景技术

晶圆生产制程中，设备需要保证承载晶圆的载台与其它作业面平行，如光刻机需要保证载台与放置光罩的平台平行，电性测试机需要保证载台、放置针卡的平台与测试头平行等，现有的载台平行度检查，一般使用如下方法：

1、水平尺：精度差，无法直接测量一平面相对另一平面的平行情况，必须以水平面为基准（气泡球中置）先调整载台水平，再调整作业面水平；工序繁冗复杂，效率低下。

2、千分表：测量方式复杂，存在因人为操作失误、测量环境差等因素导致的量测异常，也存在因机台结构无法直接测量一平面相对另一平面的平行情况。

3、光幕投影：利用激光光幕投射测试面成像，检测图像角度的重合度计算平行度。此方法成本很高且需要较大操作空间，无法在半导体制程设备的机台上使用。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种载台平行度检测仪，其具有一放置于载台上的支架，支架设置有三个装接端；每一个装接端分别装设有激光发射方向相互平行，并且在激光发射方向上不为一个平面的第一测距单元、第二测距单元和第三测距单元；利用了三个不在一条直线上的点确定一个平面、平行四边形对边等长且两两平行的几何原理；不需要载台处于水平状态，仅通过三个测距单元的测距数值，就能够快速判断载台和作业面是否相互平行。

本实用新型的实施例是这样实现的：

本实用新型实施例的一方面，提供一种载台平行度检测仪，其具有一放置于载台上的支架，支架设置有至少三个装接端；每一个装接端分别装设有激光发射方向相互平行，并且在激光发射方向上不为一个平面的第一测距单元、第二测距单元和第三测距单元；支架设有显示单元，用于显示第一测距单元、第二测距单元和第三测距单元的测距数值，测距数值为作业面激光束折返点到测距单元的下表面（即载台）之间的距离；显示单元的面板侧设有操作按键；支架设有电源且电连接第一测距单元、第二测距单元、第三测距单元和显示单元。

可选地，第一测距单元、第二测距单元和第三测距单元为双向激光测距单元，并且，每一个双向激光测距单元的激光发射方向为一条直线或相互平行；支架具有一抵接载台的支撑部，用于支撑第一测距单元、第二测距单元和第三测距单元在激光发射方向上远离载台一段距离；测距数值为测距单元至作业面上激光束折返点、测距单元长度和测距单元至载台下激光束折返点的距离总和。

可选地，支架还具有一信号线连接孔，其通过信号线连接载台设备并输出测距信号。

可选地，支架的每一个装接端设置有伸缩组件，其可沿三个装接端在支架俯视视角方向上的投影面的平面方向上，相互靠近或远离的伸缩移动。

可选地，第一测距单元、第二测距单元和第三测距单元的外壳侧壁具有至少一辅助指示灯。

可选地，第一测距单元、第二测距单元和第三测距单元的外壳侧壁具有2至5个辅助指示灯。

可选地，第一测距单元、第二测距单元和第三测距单元的外壳侧壁的辅助指示灯具有第一提醒状态和第二提醒状态。