[实用新型]一种硅片加工用通适型手动脱胶装置有效
| 申请号： | 202021858135.9 | 申请日： | 2020-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN213797453U | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 张亮 | 申请（专利权）人： | 麦斯克电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00;B28D5/04;B28D7/00 |
| 代理公司： | 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) 41120 | 代理人： | 时亚娟 |
| 地址： | 471000 河南省洛*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 一种硅片加工用通适型手动脱胶装置，适合4英寸、5英寸、6英寸三种直径规格的硅片脱胶。包括脱胶篮和限位盖板两个部分，脱胶篮由矩形底板和围设在矩形底板上表面四周的四块侧围板构成，限位盖板内左右间隔、且平行设置有多个用于支撑待脱胶硅片的尼龙阻挡线。脱胶时，将待脱胶工件放置到脱胶篮里，然后盖上脱胶篮盖板，然后一起放置到热水里进行脱胶，可以有效解决传统手动脱胶过程中造成的人员烫伤，硅片浸泡过程中倾倒等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 工用 通适型 手动 脱胶 装置 | ||
【主权项】：
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