[实用新型]一种能够提高碳化硅晶片边缘品质倒角砂轮

摘要

本实用新型公开了一种能够提高碳化硅晶片边缘品质倒角砂轮，包括工作台，所述工作台的顶端活动安装有传动轴，所述传动轴顶端活动安装有细粒砂轮，所述细粒砂轮上固定安装有细粒磨料，所述细粒砂轮的顶端活动安装有粗粒砂轮，使用砂轮对SiC晶片进行倒角磨削时，通过可滑动的夹持臂和竖板，靠近高速旋转的砂轮对晶片边缘进行磨削，将现有的粗粒砂轮和细粒砂轮进行一体成型设计，减少对砂轮的更换次数，节省操作人员的更换时间，在传动轴上安装有长方体卡头与砂轮上的卡槽进行卡合，增大传动轴与砂轮间的摩擦力，提高了工作效率，同时也避免了容易出现小亮点和崩角的情况发生，提高磨削品质。