[实用新型]一种硅晶棒防崩边切割装置有效
申请号: | 202021836564.6 | 申请日: | 2020-08-28 |
公开(公告)号: | CN213674888U | 公开(公告)日: | 2021-07-13 |
发明(设计)人: | 杨光宇 | 申请(专利权)人: | 锐捷芯盛(天津)电子科技有限公司 |
主分类号: | B28D5/02 | 分类号: | B28D5/02;B28D7/04 |
代理公司: | 北京沁优知识产权代理有限公司 11684 | 代理人: | 林捷达 |
地址: | 300000 天津市滨海新区滨海*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种硅晶棒防崩边切割装置,属于硅晶切割装置技术领域。该硅晶棒防崩边切割装置包括主体支撑机构、切割机构、底部支撑机构和夹持固定机构。所述主体支撑机构包括底板、顶板和立柱,所述立柱两端分别固定连接于所述底板和顶板,所述切割机构安装于顶板下方,所述底部支撑机构包括底座、手轮、丝杠和支架座,所述底座固定安装于所述底板上表面,所述底座上表面开设有滑槽,所述丝杠转动设置于所述滑槽内部,且所述手轮固定安装于所述丝杠端部。其中,第一弧形夹板和第二弧形夹板将硅晶棒两端包裹住,仅预留出需要切割的部分,使得切割时硅晶棒其它部分不易受到切割刀片震动带来的干扰,降低硅晶棒切割崩边的可能性。 | ||
搜索关键词: | 一种 硅晶棒防崩边 切割 装置 | ||
【主权项】:
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