[实用新型]碳化硅晶体退火坩埚及退火装置

摘要

本实用新型提供一种碳化硅晶体退火坩埚及退火装置，该退火坩埚包括底部坩埚，底部坩埚；若干环形坩埚，依次叠置于所述底部坩埚上，位于最底部的所述环形坩埚的底端与所述底部坩埚的顶端螺纹连接，相邻的两个所述环形坩埚之间通过螺纹连接；顶盖，所述顶盖与最顶部的所述环形坩埚的顶端；所述底部坩埚、所述若干环形坩埚及所述顶盖共同限定出多个独立的退火腔体。利用本实用新型进行碳化硅晶体二次退火时，可以减小位于下方的晶体会受到上方晶体的压迫而产生外应力,降低碳化硅晶体在退火过程中因应力过大而造成晶体开裂的破损率，提高碳化硅晶体产率。