[实用新型]一种检测设备及检测系统有效
| 申请号： | 202021776424.4 | 申请日： | 2020-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN212779286U | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 张龙;黄有为;陈鲁 | 申请（专利权）人： | 深圳中科飞测科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01D11/00 | 分类号： | G01D11/00;G01D21/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李洋 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种检测设备及检测系统，其中，检测设备包括检测腔室、运动部和供气系统，所述检测腔室内设有用于对待测对象进行光学检测的光学元件，所述运动部内设置用于承载所述待测对象的承载装置；且所述检测腔室和所述运动部分别与所述供气系统通气连通。检测腔室和运动部内的气体分别单独填充，二者之间并不存在相互通气的情况，能够避免污染物对光学元件造成污染，保证检测精度并避免损坏光学元件。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 设备 系统 | ||
【主权项】：
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