[实用新型]一种检测设备及检测系统

说明书

本实用新型涉及一种检测设备及检测系统，其中，检测设备包括检测腔室、运动部和供气系统，所述检测腔室内设有用于对待测对象进行光学检测的光学元件，所述运动部内设置用于承载所述待测对象的承载装置；且所述检测腔室和所述运动部分别与所述供气系统通气连通。检测腔室和运动部内的气体分别单独填充，二者之间并不存在相互通气的情况，能够避免污染物对光学元件造成污染，保证检测精度并避免损坏光学元件。

技术领域

本实用新型涉及光学检测技术领域，具体涉及一种检测设备及检测系统。

背景技术

随着半导体技术的发展，半导体光学检测技术运营而生，光学检测技术具有检测速度快、检测精度高且可实现非接触检测等优点。

光学检测设备包括检测腔室，该检测腔室设有用于对待测对象进行光学检测的光学元件，检测腔室内始终有气体流动，以保证检测腔室内的清洁度，避免污染物对光学元件造成污染，影响检测精度或损坏光学元件。

因此，在对待测对象进行检测的过程中，如何避免污染物对光学元件造成污染，保证检测精度并避免损坏光学元件，是本领域技术人员所亟需解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种检测设备及检测系统，能够避免污染物对光学元件造成污染，保证检测精度并避免损坏光学元件。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种检测设备，其包括检测腔室、运动部和供气系统，所述检测腔室内设有用于对待测对象进行光学检测的光学元件，所述运动部内设置用于承载所述待测对象的承载装置；且所述检测腔室和所述运动部分别与所述供气系统通气连通。

检测腔室和运动部内均填充有气体，并且检测腔室内的气体和运动部内的气体分别是通过供气系统单独填充的，二者均独立供气并且二者之间并不存在相互通气的情况，保证各自内部空间的气体的清洁，避免发生由于运动部内承载装置在运动过程中所产生的污染物对光学元件造成污染的情况，保证检测精度并避免损坏光学元件。

可选地，所述检测腔室和所述运动部之间设有隔板，所述隔板设有检测窗口，所述光学元件能够通过所述检测窗口对放置于所述述承载装置的所述待测对象进行光学检测。

可选地，所述检测腔室包括第一腔室和第二腔室，所述光学元件包括设于所述第一腔室内的探测装置和镜头组件以及设于所述第二腔室内的光源装置。

可选地，所述第一腔室内设有光学元件腔室，所述镜头组件设于所述光学元件腔室内。

可选地，所述供气系统包括供气部，所述供气部用于为所述第一腔室和所述运动部提供气体，并分别与所述第一腔室和所述运动部通气连通。

可选地，所述供气系统还包括供气设备，所述供气设备与所述第二腔室通气连通，用于为所述第二腔室提供气体；或者，所述供气部与所述第二腔室连通，并用于为所述第二腔室提供气体。

可选地，还包括柜体，所述供气系统、所述检测腔室和所述运动部设于所述柜体内。

可选地，所述运动部侧壁具有出气口，所述出气口的位置低于或齐平于所述承载装置的承载面。

可选地，所述运动部还包括设于所述运动部侧壁的进样窗口，所述待测对象通过所述进样窗口进入所述运动部并置于所述承载装置上。

可选地，所述运动部还包括设于所述运动部侧壁的观测窗口，所述观测窗口设置与所述进样窗口相对的侧壁。

另外，本实用新型还提供了一种检测系统，其包括传递装置以及上所述的检测设备，所述传递装置能够将待测对象传递至所述检测设备的承载装置。

具有如上所述的检测设备的检测系统，其技术效果与上述检测设备的技术效果类似，为节约篇幅，在此不再赘述。

附图说明