[实用新型]一种检测设备及检测系统

权利要求书

1.一种检测设备，其特征在于，包括检测腔室(1)、运动部(2)和供气系统，所述检测腔室(1)内设有用于对待测对象进行光学检测的光学元件，所述运动部(2)内设置用于承载所述待测对象的承载装置(21)；

且所述检测腔室(1)和所述运动部(2)分别与所述供气系统通气连通。

2.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述检测腔室和所述运动部(2)之间设有隔板，所述隔板(3)设有检测窗口(31)，所述光学元件能够通过所述检测窗口(31)对放置于所述承载装置(21)的所述待测对象进行光学检测。

3.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述检测腔室(1)包括第一腔室(11)和第二腔室(12)，所述光学元件包括设于所述第一腔室(11)内的探测装置和镜头组件以及设于所述第二腔室(12)内的光源装置。

4.根据权利要求3所述的检测设备，其特征在于，所述第一腔室(11)内设有光学元件腔室，所述镜头组件设于所述光学元件腔室内。

5.根据权利要求3所述的检测设备，其特征在于，所述供气系统包括供气部(4)，所述供气部(4)用于为所述第一腔室(11)和所述运动部(2)提供气体，并分别与所述第一腔室(11)和所述运动部(2)通气连通。

6.根据权利要求5所述的检测设备，其特征在于，所述供气系统还包括供气设备，所述供气设备与所述第二腔室(12)通气连通，用于为所述第二腔室(12)提供气体；

或者，所述供气部(4)与所述第二腔室(12)连通，并用于为所述第二腔室(12)提供气体。

7.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，还包括柜体，所述供气系统、所述检测腔室(1)和所述运动部(2)设于所述柜体内。

8.根据权利要求1-7任一项所述的检测设备，其特征在于，所述运动部(2)侧壁具有出气口(26)，所述出气口(26)的位置低于或齐平于所述承载装置的承载面。

9.根据权利要求1-7任一项所述的检测设备，其特征在于，所述运动部(2)还包括设于所述运动部(2)侧壁的进样窗口，所述待测对象通过所述进样窗口进入所述运动部(2)并置于所述承载装置(21)上。

10.根据权利要求9所述的检测设备，其特征在于，所述运动部(2)还包括设于所述运动部(2)侧壁的观测窗口，所述观测窗口设置与所述进样窗口相对的侧壁。

11.一种检测系统，其特征在于，包括传递装置以及如权利要求1-10任一项所述的检测设备，所述传递装置能够将待测对象传递至所述检测设备的承载装置(21)。