[实用新型]一种多晶硅还原炉视镜保护气重分布装置有效
| 申请号： | 202021765121.2 | 申请日： | 2020-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN214087740U | 公开（公告）日： | 2021-08-31 |
| 发明（设计）人： | 陈其国;刘丹阳;满慈皊;陈姝;杨东风;高兴 | 申请（专利权）人： | 江苏中能硅业科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 221004 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种多晶硅还原炉视镜保护气重分布装置,还原炉炉筒冷却水出口、视镜、还原炉炉筒外壳、还原炉炉筒内壳、还原炉炉筒冷却水进口、还原炉炉筒底部法兰，在视镜管的视镜保护气进气口处安装视镜保护气重分布装置。可有效保护多晶硅还原炉视镜在多晶硅沉积过程中期和后期不粘附少量硅粉，解决了多晶硅还原炉沉积过程中期和后期因视镜粘附少量硅粉导致硅棒表面温度测不准的问题，有利于在多晶硅沉积中期和后期控制多晶硅棒表面温度，提高致密料比例。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 还原 炉视镜 保护 分布 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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