[实用新型]一种上下进气式CVD反应炉

摘要

本实用新型涉及一种上下进气式CVD炉，包括反应炉主体，反应炉主体外部设置有炉壳，反应炉主体内部包括上反应腔室和下反应腔室，上反应腔室顶部设置有上进气管道，上反应腔室侧面设置有上出气管道；下反应腔室底部设置有下进气管道，下反应腔室侧面设置有下出气管道；上反应腔室和下反应腔室通过挡板进行分隔；上反应腔室和下反应腔室内侧均设置有保温层，保温层的中央设置有两个凹槽，挡板通过凹槽固定在保温层。本实用新型提供的上下进气式CVD炉，使得进料气体分布更加均匀，降低产品的生产成本。同时实现了上下反应腔室进入不同温度的反应原料，分别控温，使得两个腔室可以生产不同的产品，反应炉的使用更加灵活。