[实用新型]一种清洁沾有有机溶液的手臂的外挂式腔体有效
| 申请号： | 202021709831.3 | 申请日： | 2020-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN213316427U | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 张泽东;周健;申强;苏杭;吴文涛 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第五十五研究所 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/08;F26B21/00 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 施昊 |
| 地址： | 210016 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种清洁沾有有机溶液的手臂的外挂式腔体。外挂式腔体包括一路正面喷淋异丙醇的管路、一路正面喷淋去离子水的管路、一路背面喷淋异丙醇的管路、一路背面喷淋去离子水的管路、一路热氮气烘干管路、腔门和控制模块；前述各管路的阀门控制端与所述控制模块电连接，待清洁手臂的控制端与所述控制模块电连接，控制模块驱动待清洁手臂伸入所述腔门内。本实用新型实现手臂的清洁干燥，解决了有机湿法半导体自动化设备的固有缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 清洁 有机 溶液 手臂 外挂式 | ||
【主权项】：
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