[实用新型]一种清洁沾有有机溶液的手臂的外挂式腔体

权利要求书

1.一种清洁沾有有机溶液的手臂的外挂式腔体，其特征在于：包括一路正面喷淋异丙醇的管路、一路正面喷淋去离子水的管路、一路背面喷淋异丙醇的管路、一路背面喷淋去离子水的管路、一路热氮气烘干管路、腔门和控制模块；前述各管路的阀门控制端与所述控制模块电连接，待清洁手臂的控制端与所述控制模块电连接，控制模块驱动待清洁手臂伸入所述腔门内。

2.根据权利要求1所述清洁沾有有机溶液的手臂的外挂式腔体，其特征在于：还包括设置在腔门上侧的有机排风管道和设置在腔门下侧的有机排液管道，所述有机排风管道和有机排液管道的阀门均为常开状态。

3.根据权利要求1所述清洁沾有有机溶液的手臂的外挂式腔体，其特征在于：所述腔门包括上、下两部分，腔门的上、下两部分在腔门电机的推动下同时移动，当移动到设定位置稳定手臂根部后停止运动，所述腔门电机的控制端与控制模块电连接。

4.根据权利要求1所述清洁沾有有机溶液的手臂的外挂式腔体，其特征在于：所述腔门设置密封圈。

5.根据权利要求4所述清洁沾有有机溶液的手臂的外挂式腔体，其特征在于：所述密封圈为防有机材质的橡胶圈。

6.根据权利要求1所述清洁沾有有机溶液的手臂的外挂式腔体，其特征在于：所述正面喷淋异丙醇的管路上设有第一阀门，所述正面喷淋去离子水的管路上设有第二阀门，这两路管路的一端联通后经第三阀门与一个喷头连接；所述正面喷淋异丙醇的管路上设有第四阀门，所述正面喷淋去离子水的管路上设有第五阀门，这两路管路的一端联通后经第六阀门与另一个喷头连接；所述第一～第六阀门的控制端分别与控制模块电连接。

7.根据权利要求6所述清洁沾有有机溶液的手臂的外挂式腔体，其特征在于：所述喷头上均匀分布了数个小喷孔，从而形成数个喷淋水柱。

8.根据权利要求6所述清洁沾有有机溶液的手臂的外挂式腔体，其特征在于：所述喷头在喷头电机的驱动下进行水平方向的往复移动和旋转运动，所述喷头电机的控制端与控制模块电连接。

9.根据权利要求1所述清洁沾有有机溶液的手臂的外挂式腔体，其特征在于：所述热氮气烘干管路上设有加热丝和第七阀门，所述加热丝和第七阀门的控制端分别与控制模块电连接。