[实用新型]一种光刻机Mark点的CCD调焦装置有效
| 申请号： | 202021705398.6 | 申请日： | 2020-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN212694246U | 公开（公告）日： | 2021-03-12 |
| 发明（设计）人： | 张雪奎;牛立久 | 申请（专利权）人： | 山东华楷微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 苏州金项专利代理事务所(普通合伙) 32456 | 代理人： | 金星 |
| 地址： | 276800 山东省日照市日照高新区高新*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种光刻机Mark点的CCD调焦装置，包括连接板，连接板上螺纹孔，螺纹孔上螺纹安装有螺套，螺套上螺纹连接有螺杆，螺杆上螺纹连接有用于与CCD相机连接的调节套；螺套、螺杆和调节套的内部在轴向上相互连通。通过螺套在连接板上的旋转，不仅可以微调CCD相机的焦距，而且实现了CCD相机拍摄位置的旋转式调节，以便与拍摄的Mark点上下对应；通过调节套与螺杆的螺纹连接，便于调节套的轴向滑移，从而达到大范围调节的焦距目的。实现了CCD相机焦距的微调和大范围调节的目的，不同焦距的CCD相机均可在该装置上使用，提高了CCD相机使用的通用性，有效降低了购置不同焦距CCD相机的成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 mark ccd 调焦 装置 | ||
【主权项】：
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