[实用新型]一种光刻机Mark点的CCD调焦装置有效
| 申请号： | 202021705398.6 | 申请日： | 2020-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN212694246U | 公开（公告）日： | 2021-03-12 |
| 发明（设计）人： | 张雪奎;牛立久 | 申请（专利权）人： | 山东华楷微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 苏州金项专利代理事务所(普通合伙) 32456 | 代理人： | 金星 |
| 地址： | 276800 山东省日照市日照高新区高新*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 mark ccd 调焦 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种光刻机Mark点的CCD调焦装置，其特征在于：包括连接板，所述连接板上螺纹孔，所述螺纹孔上螺纹安装有螺套，所述螺套上螺纹连接有螺杆，所述螺杆上螺纹连接有用于与CCD相机连接的调节套；所述螺套、所述螺杆和所述调节套的内部在轴向上相互连通。
2.如权利要求1所述的光刻机Mark点的CCD调焦装置，其特征在于：位于所述调节套内的所述螺杆上设有矫正透镜固定机构。
3.如权利要求2所述的光刻机Mark点的CCD调焦装置，其特征在于：所述矫正透镜固定机构包括螺纹安装于所述螺杆内壁上的限位套，所述螺杆的端部螺纹安装有固定安装套，所述固定安装套上设有与所述螺杆同轴设置的中心孔；所述限位套与所述固定安装套之间设有多个透镜。
4.如权利要求1至3任一项所述的光刻机Mark点的CCD调焦装置，其特征在于：所述螺套的内壁上螺纹连接有所述螺杆，所述螺杆的外壁上螺纹安装有锁紧环。
5.如权利要求4所述的光刻机Mark点的CCD调焦装置，其特征在于：所述锁紧环和所述调节套上均设有多个紧固连接孔。
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