[实用新型]一种光刻机Mark点的CCD调焦装置

说明书

本实用新型公开了一种光刻机Mark点的CCD调焦装置，包括连接板，连接板上螺纹孔，螺纹孔上螺纹安装有螺套，螺套上螺纹连接有螺杆，螺杆上螺纹连接有用于与CCD相机连接的调节套；螺套、螺杆和调节套的内部在轴向上相互连通。通过螺套在连接板上的旋转，不仅可以微调CCD相机的焦距，而且实现了CCD相机拍摄位置的旋转式调节，以便与拍摄的Mark点上下对应；通过调节套与螺杆的螺纹连接，便于调节套的轴向滑移，从而达到大范围调节的焦距目的。实现了CCD相机焦距的微调和大范围调节的目的，不同焦距的CCD相机均可在该装置上使用，提高了CCD相机使用的通用性，有效降低了购置不同焦距CCD相机的成本。

技术领域

本实用新型属于CCD相机调节技术领域，尤其涉及一种光刻机Mark点的CCD调焦装置。

背景技术

目前的光刻机在进行光刻时需要对Mark点拍摄，以方便曝光时的定位，而现阶段的CDD是直接固定在机架上，CDD的焦距是固定的，也就是说CDD安装在机架后，焦距就固定了，因此该焦距是无法调节的。这样，不同的设备就需要事先根据所选CCD相机的焦距来确定好CDD相机的安装位置，以便得到清晰的图像；然而CCD的安装精度要求高，同时，每一台相同型号的设备都需要安装特定焦距的CDD，不同焦距的CCD相机是无法通用的，那么一旦CDD在使用过程中出现质量问题，需要购买相同型号的CCD替换或才能使用，这导致通用性不强。

实用新型内容

本实用新型提供了一种光刻机Mark点的CCD调焦装置，以达到提高通用性的目的。

为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：一种光刻机Mark点的CCD调焦装置，包括连接板，所述连接板上螺纹孔，所述螺纹孔上螺纹安装有螺套，所述螺套上螺纹连接有螺杆，所述螺杆上螺纹连接有用于与CCD相机连接的调节套；所述螺套、所述螺杆和所述调节套的内部在轴向上相互连通。

作为一种改进，位于所述调节套内的所述螺杆上设有矫正透镜固定机构。

作为进一步的改进，所述矫正透镜固定机构包括螺纹安装于所述螺杆内壁上的限位套，所述螺杆的端部螺纹安装有固定安装套，所述固定安装套上设有与所述螺杆同轴设置的中心孔；所述限位套与所述固定安装套之间设有多个透镜。

作为再进一步的改进，所述螺套的内壁上螺纹连接有所述螺杆，所述螺杆的外壁上螺纹安装有锁紧环。

作为又进一步的改进，所述锁紧环和所述调节套上均设有多个紧固连接孔。

采用了上述技术方案后，本实用新型的效果是：

由于该光刻机Mark点的CCD调焦装置包括连接板，连接板上螺纹孔，螺纹孔上螺纹安装有螺套，螺套上螺纹连接有螺杆，螺杆上螺纹连接有用于与CCD相机连接的调节套；螺套、螺杆和调节套的内部在轴向上相互连通，基于上述结构，该光刻机Mark点的CCD调焦装置在使用中，通过连接板与光刻机的机架相连，通过螺套在连接板上的旋转，不仅可以微调CCD相机的焦距，而且实现了CCD相机拍摄位置的旋转式调节，以便与拍摄的Mark点上下对应；通过调节套与螺杆的螺纹连接，便于调节套的轴向滑移，从而达到大范围调节的焦距目的。

综上所述，采用该光刻机Mark点的CCD调焦装置，实现了CCD相机焦距的微调和大范围调节的目的，不同焦距的CCD相机均可在该装置上使用，与传统使用特定焦距的CDD相机的方式相比，大大提高了CCD相机使用的通用性，同时，有效降低了购置不同焦距CCD相机的成本。

由于位于调节套内的螺杆上设有矫正透镜固定机构，从而通过矫正透镜固定机构来纠正图像(如：模糊等)，以便CCD相机拍的更加清楚。

由于矫正透镜固定机构包括螺纹安装于螺杆内壁上的限位套，螺杆的端部螺纹安装有固定安装套，固定安装套上设有与螺杆同轴设置的中心孔；限位套与固定安装套之间设有多个透镜，从而通过多个透镜来达到纠正图像的效果，通过限位套和固定安装套的配合来对多个透镜进行固定和定位。