[实用新型]一种还原炉的多管式进料系统

摘要

本实用新型涉及一种还原炉的多管式进料系统，属于多晶硅生产中进料控制技术领域。包括与气化氯硅烷和氢气供料总管连接的至少两个进料主管，进料主管上均设置阀门和多个进料支管，阀门设置在气化氯硅烷和氢气供料总管与进料支管之间；还原炉中底盘上设置至少两组喷嘴，每组喷嘴之间呈间隔且均匀分布设置；进料主管的数量与喷嘴组数相等，每组喷嘴通过进料支管与对应进料主管连通。根据不同阶段的需料量，进行进料控制，解决喷嘴供料不均匀等问题；并使得在不同的进料量下维持喷嘴喷射的高度，解决炉内顶部流动性差、相对死区等问题，进而降低疏松、呈珊瑚状等非致密气相沉积的现象，有效提高硅料品质而不牺牲电耗的目的。