[实用新型]一种还原炉的多管式进料系统有效
申请号: | 202021559530.7 | 申请日: | 2020-07-31 |
公开(公告)号: | CN213141422U | 公开(公告)日: | 2021-05-07 |
发明(设计)人: | 贾琳蔚;朱彬;陈彬;陈绍林;杨楠;李寿琴;刘逸枫;甘居富 | 申请(专利权)人: | 云南通威高纯晶硅有限公司 |
主分类号: | C01B33/03 | 分类号: | C01B33/03 |
代理公司: | 成都天嘉专利事务所(普通合伙) 51211 | 代理人: | 向丹 |
地址: | 678100 云*** | 国省代码: | 云南;53 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 还原 多管式 进料 系统 | ||
1.一种还原炉的多管式进料系统,其特征在于:包括与气化氯硅烷和氢气供料总管(1)连接的至少两个进料主管(2),进料主管(2)上均设置阀门(3)和多个进料支管(4),阀门(3)设置在气化氯硅烷和氢气供料总管(1)与进料支管(4)之间;
所述还原炉中底盘(5)上设置至少两组喷嘴(6),进料主管(2)的数量与喷嘴(6)组数相等,每组喷嘴(6)通过进料支管(4)与对应进料主管(2)连通。
2.根据权利要求1所述的还原炉的多管式进料系统,其特征在于:所述每组喷嘴(6)之间呈间隔且均匀分布设置。
3.根据权利要求1或2所述的还原炉的多管式进料系统,其特征在于:所述进料主管(2)为两个。
4.根据权利要求1或2所述的还原炉的多管式进料系统,其特征在于:所述阀门(3)为气动开关阀、电动开关阀、气动调节阀、电动节阀及手动阀门中一种或者至少两种以上的组合。
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