[实用新型]一种光刻机的成像装置有效
| 申请号： | 202021494552.X | 申请日： | 2020-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN213122597U | 公开（公告）日： | 2021-05-04 |
| 发明（设计）人： | 王泽明;邓超略;朱勤;黄文斌;赵家峰 | 申请（专利权）人： | 湖南印之明智能制造有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京棘龙知识产权代理有限公司 11740 | 代理人： | 聂颖 |
| 地址： | 411110 湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种光刻机的成像装置，包括底座和电动伸缩杆，所述电动伸缩杆安装于底座上方，所述电动伸缩杆远离底座的一端安装将放置在其上的PCB板放入光刻机工作位置进行曝光的旋转工作台，现有的升降平台在使用的过程中一次只可对一块PCB板进行放置，且每次更换新的PCB板后便需要重新进行高度调节，降低了工作效率，为此，我们提出一种光刻机的成像装置，使用旋转工作台代替普通工作台，可同时放入三块PCB板，通过电动伸缩杆即可同步完成三块PCB板的高度调节，之后通过旋转电机带动旋转工作台将三块PCB板依次放入光刻机工作位置，同时通过控制驱动电机即可完成对三块PCB板的偏转角度调节，即可依次进行曝光、收取和放入PCB板，提高工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 成像 装置 | ||
【主权项】：
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