[实用新型]一种光刻机的成像装置

权利要求书

1.一种光刻机的成像装置，包括底座(1)和电动伸缩杆(2)，所述电动伸缩杆(2)安装于底座(1)上方，其特征在于：所述电动伸缩杆(2)远离底座(1)的一端安装将放置在其上的PCB板放入光刻机工作位置进行曝光的旋转工作台(3)。

2.根据权利要求1所述的一种光刻机的成像装置，其特征在于：所述旋转工作台(3)包括工作台(4)和伸长板(5)，所述工作台(4)通过轴承转动连接于电动伸缩杆(2)远离底座(1)的一端，所述电动伸缩杆(2)靠近工作台(4)的一端开有旋转槽(6)，所述旋转槽(6)内安装有旋转电机(7)，所述旋转电机(7)输出端与工作台(4)连接固定，所述伸长板(5)设有三个，且一端与工作台(4)连接固定，所述伸长板(5)远离工作台(4)的一端安装有放置PCB板的放置台(8)。

3.根据权利要求2所述的一种光刻机的成像装置，其特征在于：所述放置台(8)包括放置板(9)和安装板(10)，所述安装板(10)设有两个，且一端固定于伸长板(5)远离工作台(4)的一端，所述安装板(10)内部固定有偏转圆柱(11)，所述偏转圆柱(11)两端分别与安装板(10)连接固定，一个靠近工作台(4)的所述安装板(10)开有偏转槽(12)，所述放置板(9)一侧设有两个与安装板(10)上方相贴合的限位槽(13)，两个所述限位槽(13)内部安装有偏转杆(14)，所述偏转杆(14)开有与偏转圆柱(11)相贴合的通孔，所述偏转杆(14)套于偏转圆柱(11)内部。

4.根据权利要求3所述的一种光刻机的成像装置，其特征在于：所述工作台(4)上方安装有同步控制三个放置板(9)偏转角度的偏转装置(15)，所述偏转装置(15)包括偏转板(16)，所述偏转板(16)设有三个，且一端固定于伸长板(5)靠近工作台(4)的一端，所述偏转板(16)远离伸长板(5)的一端开有通孔，所述偏转板(16)转动连接有偏转齿轮(17)，所述偏转齿轮(17)通过转轴转动连接于所述偏转板(16)通孔内，所述转轴远离偏转齿轮(17)的一端一固定有驱动板(18)，所述驱动板(18)远离转轴的一端固定有驱动杆(19)，所述驱动杆(19)远离驱动板(18)的一端通过偏转槽(12)与偏转杆(14)远离放置板(9)的一端连接固定，三个所述偏转板(16)内部安装有驱动偏转齿轮(17)转动而偏转放置台(8)的驱动装置(20)。

5.根据权利要求4所述的一种光刻机的成像装置，其特征在于：所述驱动装置(20)包括安装架(21)，所述安装架(21)固定于工作台(4)靠近偏转板(16)的一侧，所述安装架(21)内部安装有与偏转齿轮(17)相啮合的驱动齿轮(22)，所述驱动齿轮(22)两端通过轴承转动连接于安装架(21)和工作台(4)内部，所述安装架(21)远离驱动齿轮(22)的一侧安装有驱动电机(23)，所述驱动电机(23)输出端与驱动齿轮(22)连接固定。