[实用新型]一种光刻机的成像装置

说明书

本实用新型公开了一种光刻机的成像装置，包括底座和电动伸缩杆，所述电动伸缩杆安装于底座上方，所述电动伸缩杆远离底座的一端安装将放置在其上的PCB板放入光刻机工作位置进行曝光的旋转工作台，现有的升降平台在使用的过程中一次只可对一块PCB板进行放置，且每次更换新的PCB板后便需要重新进行高度调节，降低了工作效率，为此，我们提出一种光刻机的成像装置，使用旋转工作台代替普通工作台，可同时放入三块PCB板，通过电动伸缩杆即可同步完成三块PCB板的高度调节，之后通过旋转电机带动旋转工作台将三块PCB板依次放入光刻机工作位置，同时通过控制驱动电机即可完成对三块PCB板的偏转角度调节，即可依次进行曝光、收取和放入PCB板，提高工作效率。

技术领域

本实用新型涉及芯片加工技术领域，具体为一种光刻机的成像装置。

背景技术

PCB板是电子元器件的支撑体，是电子元器件电气连接的载体，在对PCB板进行加工的过程中，需要使用光刻机进行曝光，光刻机在对PCB板进行曝光时，需要调节PCB板的成像焦距，提高PCB板的光刻成像质量和效率，此过程常常会使用升降平台进行调节。

但是，现有的升降平台在使用的过程中一次只可对一块PCB板进行放置，且每次更换新的PCB板后便需要重新进行高度调节，且无法对PCB板进行偏转角度调节，降低了工作效率，为此，我们提出一种光刻机的成像装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种光刻机的成像装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种光刻机的成像装置，包括底座和电动伸缩杆，所述电动伸缩杆安装于底座上方，所述电动伸缩杆远离底座的一端安装将放置在其上的PCB板放入光刻机工作位置进行曝光的旋转工作台。

优选的，所述旋转工作台包括工作台和伸长板，所述工作台通过轴承转动连接于电动伸缩杆远离底座的一端，所述电动伸缩杆靠近工作台的一端开有旋转槽，所述旋转槽内安装有旋转电机，所述旋转电机输出端与工作台连接固定，所述伸长板设有三个，且一端与工作台连接固定，所述伸长板远离工作台的一端安装有放置PCB板的放置台，通过控制旋转电机的带动工作台的转动，使得三个放置台进行旋转，将一个放置台放入光刻机工作位置进行高度调节，即可完成三个放置台的高度调节，之后便可将三个放置台旋转放入光刻机内部，依次进行曝光、收取和放入待曝光的PCB板，提高工作效率。

优选的，所述放置台包括放置板和安装板，所述安装板设有两个，且一端固定于伸长板远离工作台的一端，所述安装板内部固定有偏转圆柱，所述偏转圆柱两端分别与安装板连接固定，一个靠近工作台的所述安装板开有偏转槽，所述放置板一侧设有两个与安装板上方相贴合的限位槽，两个所述限位槽内部安装有偏转杆，所述偏转杆开有与偏转圆柱相贴合的通孔，所述偏转杆套于偏转圆柱内部，将PCB板固定于放置台上方便可在旋转电机的带动下依次进入光刻机内部工作位置。

优选的，所述工作台上方安装有同步控制三个放置板偏转角度的偏转装置，所述偏转装置包括偏转板，所述偏转板设有三个，且一端固定于伸长板靠近工作台的一端，所述偏转板远离伸长板的一端开有通孔，所述偏转板转动连接有偏转齿轮，所述偏转齿轮通过转轴转动连接于所述偏转板通孔内，所述转轴远离偏转齿轮的一端一固定有驱动板，所述驱动板远离转轴的一端固定有驱动杆，所述驱动杆远离驱动板的一端通过偏转槽与偏转杆远离放置板的一端连接固定，三个所述偏转板内部安装有驱动偏转齿轮转动而偏转放置台的驱动装置，通过驱动装置转动偏转齿轮，使得偏转齿轮通过驱动杆对偏转杆进行偏转，进而控制放置板的偏转角度。

优选的，所述驱动装置包括安装架，所述安装架固定于工作台靠近偏转板的一侧，所述安装架内部安装有与偏转齿轮相啮合的驱动齿轮，所述驱动齿轮两端通过轴承转动连接于安装架和工作台内部，所述安装架远离驱动齿轮的一侧安装有驱动电机，所述驱动电机输出端与驱动齿轮连接固定，通过控制驱动电机的工作，使得驱动齿轮同步控制三个所述偏转齿轮的转动，即可完成对三个放置台的偏转角度控制，提高工作效率。