[实用新型]用于大尺寸热沉金刚石制备的磁旋转直流电弧等离子体炬有效

专利信息
申请号: 202021316028.3 申请日: 2020-07-07
公开(公告)号: CN212163809U 公开(公告)日: 2020-12-15
发明(设计)人: 裴珍玉;张代涛 申请(专利权)人: 天津市宝利欣超硬材料有限公司
主分类号: H05H1/34 分类号: H05H1/34;H05H1/28
代理公司: 天津企兴智财知识产权代理有限公司 12226 代理人: 蒋宏洋
地址: 300402 天津市北*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 实用新型提供了一种用于大尺寸热沉金刚石制备的磁旋转直流电弧等离子体炬,包括处于中心轴处的阴极以及同心套装在阴极外部的至少一个圆筒状辅助电极;阴极和辅助电极之间以及相邻的辅助电极之间均设有隔离密封环;最外层的辅助电极外部套装有阳极,阳极整体呈环形,阳极下端向内收拢成弧形,该弧形位于阴极的下方;阳极外部套有稳弧磁场线圈;稳弧磁场线圈下方设置有扩弧磁场线圈。本实用新型所述的用于大尺寸热沉金刚石制备的磁旋转直流电弧等离子体炬,结构简单,气体沉积面积大,适用于大尺寸热沉金刚石的制备。
搜索关键词: 用于 尺寸 金刚石 制备 旋转 直流 电弧 等离子体
【主权项】:
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